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好处
HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) 能够快速达到测试条件。
I-CAL (Intelligent - Calculation Algorithm for Leak Rates) 确保对所有测试范围内的泄漏做出快速响应。
特殊的多进口涡轮分子泵可以在所有压力下提供zui佳氦气泵速和高氦气压缩率，从而提供卓越灵敏度、快速响应和清洗。
前置涡轮分子泵可以对任何测试对象（包括zui大容量和zui大腔室）提供ji其快速的响应。
经过领域验证的 INFICON 扇形磁场质谱仪采用无故障、免维护设计，历经数年仍可提供准确且可重复的结果。
自我保护功能可保护 UL5000 免受氦气和粒子污染，甚至还设有自动冲净周期，确保 UL5000 随时可用。
旋转式显示器/控制接口和可选远程手动控制器提供操作灵活性。
可通过软件启用对装置和系统软件的访问控制，从而阻止未经授权地使用或意外修改测试设定。
通过电子邮件升级软件，确保您的 UL5000 始终处于zui佳工作状态。
新型工作站设计，带有zui佳高度的工作台面，并且配备有防静电台垫和工具箱，便于测试。
典型应用
半导体和平板显示器工具上测试元件、部件和大型腔室泄漏测试
半导体和平板工具泄漏测试
航空元件、部件和系统泄漏测试
储存容器/储罐的泄漏测试
