油扩散泵
与其它的类型的蒸汽流真空泵相比,油锅内和蒸汽射流中的蒸汽密度是相当低的,因此气体分子几乎可以全部扩散进入蒸汽射流中,而其中的绝大部分分子会被抽出。
扩散泵的抽速(与进气口面积相关)高而恒定, 在进气压强约为10-3mbar(0.75×10-3Torr)至很低压强范围内,蒸汽射流不受真空室内压强变化的影响。
油扩散泵的工作
前级真空
在任何情况下,扩散泵都需配足够大小的前级泵(见技术数据),前级真空泵的规格和类型取决于工作条件和所抽气体量。
1.在10-4 mbar(0.75 x 10-4托)以上连续工作 — 抽大量气体。
2.在10-4 mbar(0.75 x 10-4托)以下连续工作 — 抽较少量气体。
使用扩散泵时,真空室必须通过阀(3)和粗抽线直接连到前级泵。先用前级泵
将真空室抽低至扩散泵能正常切入的压强,如扩散泵已准备完毕,可打开高真空阀(4)开始。真空室破空前,必须关闭前级真空阀(2)和高真空阀(4),扩散泵维持在备用状态。
抽速
任何一种泵的抽速都是指通过泵吸入口的体积流量。对于扩散泵来说对轻气体抽速比重气体抽速大。
泵油返流
某些油分子脱离蒸汽喷射流且未能被冷却的泵体捕集时,就可能发生不希望的返流现象。油分子之间的碰撞和泵体的反射,使其可能向真空室方向运动。
DIP扩散泵的返油率仅为每分钟每cm2进气口面积几μg,加水冷帽或冷阱捕集后,几乎可完全消除油返流。