好处
通过缩短抽气时间和响应时间加快泄漏检测工作
通过使用可选的背景抑制(Izero),避免需要进行多次泄漏测试。
通过紧凑的设计方便进入空间有限的维护区域
通过耐用的两个热丝离子源(三年保修)和逆流式真空系统实现低拥有成本 (TCO)
通过可旋转显示、声音和灯光泄漏提示以及可选的远程控制降低应用难度
通过内置泄漏测试和自动校准程序实现低成本维护
典型应用
对清洁度要求严苛的工业真空设备制造
在将真空组件或子组件安装到现有工具中之前
真空工具的维护工作,无论是否有泵的支持
工艺气体系统的检查和安装
半导体、平板显示器或太阳能电池制造